第(2/3)页 徐国士油然叹息道。 “徐老师,我再给你透露一个西方光刻机研究的绝密情报。西方研发气体激光器的方向暂时是在氟化氪上面。据说氟化氪激光器的最大分辨率能够达到180纳米。他们更提出了氟化氩这个预研方向。据说氟化氩激光器的最大分辨率可以达到45纳米。我想这个消息应该对你具有一定的参考价值。” 陈国泰略微想了想,语气很是认真地对徐国士说道。 氟化氪光源是第三代光源,氟化氩是第四代。 虽然西方世界很大可能才刚开始研究氟化氪,氟化氩还连影子都没有,但并不妨碍陈国泰将这个消息提前透露给国家知道。 “真的吗?小陈,你提供的这个消息如果是真的,那价值就太重大了!我们正在探索怎么在氦—氖激光器基础上继续改进,你这一下子就指出了明确方向......” 徐国士一下子激动起来,目光灼灼地盯着陈国泰说道。 “徐老师,情报是这样,但具体是不是,还得你们进行仔细验证。” 陈国泰立即语气谨慎地说道。 虽然他无比笃定氟化氪光源从九十年代初期开始大行其道,氟化氩在二十一世纪初得到实际应用,直到2016年才被极紫外激光取代,但他也不可能在当下把话说死。 “嗯,实验各种材料很麻烦,也很费资源,但要验证某种材料好不好,还是比较简单。小陈,谢谢你,谢谢凤凰集团。”徐国士满脸感激地说道。 “徐老师不用客气。咱们之间的合作协议达成之后,研发出来的技术是永久共享。你们找到正确道路并投入运用,对我们凤凰集团同样有好处......再说了,从此之后国内光刻机的研发试制都由我们凤凰秘密提供资金。这也是给我们自己省钱......” 陈国泰摆了摆手,谦逊地说道。 说到最后,陈国泰的嘴唇动了动,想要说出光刻机在未来的三大创新——步进式扫描投影、双工件台配合、浸没式光刻。 不过他终究还是没有将其说出来。 就现在的情况,他都已经非常确定,只要凤凰集团拿到国内现阶段光刻机的所有设计图纸,再用港城的高精密机械将主要零部件制造出来并成功组装,最终成品的质量水准绝对会位居世界第一! 这一定会引起西方世界的高度注意。 而随着凤凰集团的机械制造水平越来越高,以及国内的理论设计水平不断提升,凤凰集团的光刻机水准绝对会一直稳坐全球头把交椅。 第(2/3)页